가스 또는 기체의 유량을 디지탈 측정하는 센서로 고정밀 MEMS 센서장착되어 저압에서도 유량 손실없이 측정이 가능합니다. 측정기 감지부 내부직경은 3mm와 8mm로 나뉘어 지며 3mm는 최대 0~5SLPM, 8mm는 0~50SLPM까지 측정가능합니다. 측정 데이타 출력방식은 RS232 , RS485, 아나로그 전압(0.5V~4.5V) 3가지 타입이 있으며 주문시 선택사양입니다. 











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